Natančna obdelava se nanaša na splošen izraz za natančnost obdelave in površinsko obdelavo, ki presega tiste pri običajnih metodah končne obdelave. Vključuje predvsem natančno rezanje (kot je diamantno vrtanje in natančno struženje) in visoko-natančno brušenje. Njegova natančnost obdelave je običajno 10~0,1 μm, s tolerančno stopnjo IT5 ali višjo in površinsko hrapavostjo Ra pod 0,1 μm. Ta postopek zahteva visoko-natančna obdelovalna orodja in fino brušena rezalna orodja, ki dosegajo visoko-natančno obdelavo z izjemno majhnimi globinami reza in pomikanjem. Pri opremi za polprevodniško lasersko obdelavo uporablja tehnologije, kot so lasersko piskanje, označevanje in razvezovanje, ter vključuje načrtovanje in proizvodnjo visoko{11}}natančnih optičnih sistemov.
Ta proces zajema tehnologije, kot je natančno žigosanje polprevodniških svinčenih okvirjev in strojna obdelava rezil letalskih-motorjev. moja država je dosegla pod-nanometrsko-natančnost obdelave za optične komponente, s čimer je prebila ključne tehnologije, kot sta magnetoreologija in oprema za poliranje z ionskim žarkom. Politične pobude predlagajo preboje v ključnih tehnologijah za natančno oblikovanje in obdelavo lahkih materialov, ki tvorijo sodelovalni inovacijski sistem materialov, procesov in aplikacij na področju lahke avtomobilske industrije. Stroji za poliranje z ionskim žarkom so dosegli minimalno nadzorovano stopnjo odstranjevanja materiala 0,1 nanometra, kar zagotavlja tehnično podporo za velike nacionalne znanstvene in tehnološke projekte, kot je proizvodnja integriranih vezij.
